[发明专利]一种用于石墨烯复合薄膜制备的卷绕式设备有效
| 申请号： | 202110992659.X | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN113684464B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 郝明;杜雪峰;李成林 | 申请（专利权）人： | 辽宁分子流科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54;C23C14/24;C23C14/06;C23C14/58 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110179 辽宁省沈阳*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于石墨烯复合薄膜制备的卷绕式设备，主要包括腔室、蒸发模块、涂覆模块和图案生成辊；蒸发模块通过真空蒸发镀膜在柔性基膜表面沉积催化剂膜层。涂覆模块将石墨烯复合材料涂覆在催化剂膜层之上形成涂覆层；涂覆层在涂覆层之下的催化剂的作用下催化生长成石墨烯复合湿膜层。图案生成辊通过负压吸收对绕经图案生成辊的柔性基膜上尚未成型的湿膜层进行部分去除，从而在柔性基膜上形成具有特定图案的石墨烯复合薄膜。图案生成辊包括内辊和外辊；外辊布置有网孔阵列；内辊布置有吸收孔阵列，吸收孔与网孔之间通过吸收管道相连；内辊内部为空腔结构，内辊的端部与低真空泵相连，低真空泵将内辊内部抽成相对于腔室内气压的负压。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 石墨 复合 薄膜 制备 卷绕 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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