[发明专利]单晶氮化铝薄膜及其制作方法、体声波滤波器的制作方法有效
| 申请号： | 202110992773.2 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN114000199B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 樊永辉;许明伟;樊晓兵 | 申请（专利权）人： | 深圳市汇芯通信技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B25/02;C30B25/00;C30B23/00;C30B31/22;H03H3/02;H03H9/56 |
| 代理公司： | 深圳市博衍知识产权代理有限公司 44415 | 代理人： | 曾新浩 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市华富街道莲花一*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种单晶氮化铝薄膜及其制作方法、体声波滤波器的制作方法，单晶氮化铝薄膜的制作方法包括步骤：提供一衬底；在所述衬底上形成单晶含有铝和氮的三元或多元化合物薄膜；通过离子注入方式对单晶含有铝和氮的三元或多元化合物薄膜进行金属掺杂；形成掺杂的单晶氮化铝薄膜。通过上述方案以提供一种高品质掺杂的单晶氮化铝薄膜作为体声波滤波器的压电层，以提高滤波器的带宽。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 薄膜 及其 制作方法 声波 滤波器 | ||
【主权项】：
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