[发明专利]一种晶圆匀胶显影装置在审
| 申请号： | 202110994779.3 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN113721425A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 汪钢;袁创迪 | 申请（专利权）人： | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/26 |
| 代理公司： | 浙江中桓凯通专利代理有限公司 33376 | 代理人： | 刘潇 |
| 地址： | 315400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆匀胶显影装置，所述晶圆匀胶显影装置包括：固定板；晶圆匀胶显影单元，所述晶圆匀胶显影单元设于所述固定板；支架，所述支架设有至少一个安装开口；其中，所述固定板与所述支架滑动连接，所述晶圆匀胶显影单元能够随所述固定板从所述安装开口滑出或装入所述支架。本发明有效解决晶圆匀胶显影单元不便于更换和维修的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆匀胶 显影 装置 | ||
【主权项】：
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