[发明专利]一种感光性聚合物及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202110994811.8 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN113754826B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 邓云祥;钟春燕 | 申请（专利权）人： | 珠海雅天科技有限公司 |
| 主分类号： | C08F220/18 | 分类号： | C08F220/18;C08F220/28;C08F230/08;G03F7/004 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 黄菲菲 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市横琴新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于高分子材料领域，公开了一种感光性聚合物及其制备方法和应用。该感光性聚合物，包含下列结构单元：(1A)：具有至少一个能够通过酸水解产生酸性基团的结构单元；(1B)：具有至少一个烯烃、乙烯基醚或(甲基)丙烯酸酯能够通过作用力配对的单体结构单元；(1C)：具有至少一个环状基团的结构单元。本发明通过对感光性聚合物结构的优化，使其具有良好的浸润性，利用其制备的光刻胶，与涂布材料的相容性好，能够应用于193nm浸没式光刻，满足45nm以下的半导体制程的分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 感光性 聚合物 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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