[发明专利]一种管道传输连续式真空镀膜生产线结构及其生产方法在审
| 申请号： | 202110996253.9 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN113637951A | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 汪友林 | 申请（专利权）人： | 森科五金（深圳）有限公司;沈阳爱科斯科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市神州联合知识产权代理事务所(普通合伙) 44324 | 代理人： | 王志强 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种管道传输连续式真空镀膜生产线结构，具体涉及真空镀膜设备技术领域；该生产线结构包括有工件架以及加工组件；加工组件中至少一个具有内部加工空间，用于对待加工工件进行镀膜加工的加工管；以及，至少一个用于隔绝或连通不同的空间的隔离阀；多个加工管依序排列，隔离阀设置在相邻的加工管之间，相邻的加工管通过隔离阀连接后，其内部加工空间连通形成容工件架传送的通道。本发明还提供一种管道传输连续式真空镀膜生产方法，与现有技术相比，本发明提供生产线结构具有结构灵活、一致性好、自动化程度高、可控性强等优点，本发明提供的生产方法具有拓展性好、操作方便、镀膜效率高、装置利用率高等有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 管道 传输 连续 真空镀膜 生产线 结构 及其 生产 方法 | ||
【主权项】：
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