[发明专利]基于裂纹褶皱结构的非晶碳基柔性传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202111002413.X | 申请日： | 2021-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN113720255A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 汪爱英;周靖远;郭鹏;崔丽;马鑫;闫春良 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | G01B7/16 | 分类号： | G01B7/16;C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于裂纹褶皱结构的非晶碳基柔性传感器，包括：柔性衬底，非晶碳膜，以及导电电极，其中非晶碳膜沉积在柔性衬底表面，导电电极位于非晶碳膜两端，所述非晶碳膜为裂纹褶皱结构。该非晶碳基柔性传感器在较大拉伸测范围内，具有较高的灵敏度。本发明还提供了基于裂纹褶皱结构的非晶碳基柔性传感器的制备方法，包括预拉伸柔性衬底进行非晶碳膜表面沉积，释放预拉伸柔性衬底，使得回弹后的预拉伸柔性衬底表面的非晶碳薄膜具有裂纹褶皱结构，以得到基于裂纹褶皱结构的非晶碳基柔性传感器。该方法制备简单、高效，易于大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 裂纹 褶皱 结构 非晶碳基 柔性 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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