[发明专利]一种测量温度和应变的双模态柔性传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202111003477.1 | 申请日： | 2021-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN113720386A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 刘宜伟;杨梦宇;巫远招;李润伟;王正平;王艺范;何志豪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;C23C28/00 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测量温度和应变的双模态柔性传感器，包括设于最外侧的两柔性衬底(1)，两柔性衬底(1)的外表面分别附着应变敏感材料(4)，内表面分别覆盖电极(3)，两电极(3)间夹有介电材料层(2)；所述的柔性衬底(1)为柔性薄膜，不导电。该双模态柔性传感器利用应变敏感材料的电阻随应变发生变化及介电材料的介电常数ε和厚度d随温度发生变化实现温度和应变双模态测量。此外，该双模态柔性传感器结构简单、制备和使用方法简单高效，测温范围广，可以实现20～200℃的温度测量、0～2000με的应变测量，测量精度高、温度测量误差约为4.44％，应变测量误差约为6.5％，可应用于汽车胎压与温度的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 温度 应变 双模 柔性 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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