[发明专利]气体质量流量控制方法及装置在审
| 申请号： | 202111010673.1 | 申请日： | 2021-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN113721673A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 杜井庆;王瑞;苏乾益 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创流量计有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06;G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京市北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种气体质量流量控制方法及装置，包括：设定目标流量值；控制进气流量控制单元接通进气管路，同时控制出气流量控制单元断开出气管路，以使进气管路能够向流量控制腔室内输送气体，直至流量控制腔室的内部气体压力达到第一预设压力值；控制进气流量控制单元断开进气管路，同时控制出气流量控制单元接通出气管路；实时检测流量控制腔室的内部气体压力，并根据流量控制腔室的内部气体压力变化，实时计算流量控制腔室的当前出气流量值；控制出气流量控制单元调节流量控制腔室的当前内部气体压力，以使当前出气流量值等于目标流量值。本发明提出的气体质量流量控制方法及装置具有对信号响应快和调节速度快等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 质量 流量 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
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