[发明专利]衬底用抛光垫及抛光装置及其抛光工艺在审
| 申请号： | 202111012634.5 | 申请日： | 2021-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN113696092A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 萧尊贺;陈李彪;宋淀垣;谢斌晖 | 申请（专利权）人： | 福建晶安光电有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/24;B24B37/26;B24B37/04;B24B57/02;B24B57/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362411 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种衬底用抛光垫，其材质为高分子材料，邵氏硬度为70‑75，厚度为2‑3mm，采用所述抛光垫及其抛光装置对衬底进行抛光作业，可降低衬底表面损伤层深度，提高抛光对于平坦度的修复能力，进一步降低衬底抛光后的平坦度数值。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 抛光 装置 及其 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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