[发明专利]一种用于反射式光栅安装的低温高稳定性支撑结构有效
| 申请号： | 202111014804.3 | 申请日： | 2021-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN113777732B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 冯玉涛;吴阳;武俊强;孙剑;张兆会;韩斌;郝雄波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 唐沛 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于反射式光栅安装的低温高稳定性支撑结构，包括光栅压板、光栅基板、弹性压片以及球头柱塞；反射光栅背部通过单点粘接的方式与光栅基板进行固定，光栅基板嵌装于光栅压板的安装槽内，通过设置在安装槽两侧槽壁内的球头柱塞，实现了光栅基板在X，Y方向的定位；通过弹性压板向光栅基板提供Z向的预紧力，在弹性压板和安装槽槽底的安装基准面的作用下，实现光栅基板Z方向的定位。该支撑结构在保证支撑精度的同时将反射光栅与光栅压板结构进行了有效的隔离，温度载荷作用下的变形由柔性结构吸收和缓冲，反射光栅几乎不受到随温度变化的作用力，有效的保证了光栅表面面形精度，实现系统的温度稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 反射 光栅 安装 低温 稳定性 支撑 结构 | ||
【主权项】：
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