[发明专利]一种加热器及单晶炉热场在审
| 申请号： | 202111016078.9 | 申请日： | 2021-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN115726036A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 周永波;王玉龙;赵鹏;杨东 | 申请（专利权）人： | 银川隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/14 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 750021 宁夏回族自治区银*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明公开一种加热器及单晶炉热场，涉及单晶制造技术领域。以提供一种在不缩短加热器加热区的情况下，减少加热器的发热区，从而降低单晶硅的氧含量的技术方案。本发明提供的加热器，应用于单晶炉热场中，加热器设置在单晶炉热场中坩埚的外周，用于至少对坩埚中的熔硅液面进行加热。加热器包括：多个加热区以及多个开缝区，每个开缝区均连接于相邻两个加热区之间；多个开缝区的开口具有相同的开口方向，且开缝区的宽度大于或等于加热区的宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热器 单晶炉热场 | ||
【主权项】：
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