[发明专利]MEMS振镜及其制作方法在审
| 申请号： | 202111017550.0 | 申请日： | 2021-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN113448080A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 王子栋;程传同 | 申请（专利权）人： | 北京中科海芯科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京鼎承知识产权代理有限公司 11551 | 代理人： | 王铭珠;柯宏达 |
| 地址： | 100089 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供了一种MEMS振镜及其制作方法。MEMS振镜包括：振镜部、外框、连接于振镜部与外框之间的转轴部，以及，疏水膜。其中，疏水膜至少包覆于转轴部的外表面。所述方法包括：提供基底层；在基底层中形成MEMS振镜的振镜部、外框以及连接于振镜部与外框之间的转轴部；至少在转轴部的外表面形成疏水膜。本公开一些实施例提供的MEMS振镜具有良好的抗疲劳性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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