[发明专利]薄膜传感器及其制备方法、参数检测方法在审
| 申请号： | 202111019949.2 | 申请日： | 2021-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN113776586A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 谭秋林;董和磊;熊继军;张磊;李翔鹏 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京致科知识产权代理有限公司 11672 | 代理人： | 魏红雅 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种薄膜传感器及其制备方法、参数检测方法，该薄膜传感器包括：至少一个三向应变敏感单元；每个三向应变敏感单元包括三个应变栅，三个应变栅串联形成等边三角形；通过检测获得各应变栅的压降，基于各应变栅的压降确定待测构件的应变量和/或温度。本发明通过采用三向应变敏感单元，三个应变栅串联形成等边三角形，可通过较少导线检测各应变栅的压降，同时获得待测构件的应变和温度变化，有效降低薄膜传感器的占用面积，实现薄膜传感器小型化、多功能化、集成化，解决现有技术发动机内部空间不足的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 传感器 及其 制备 方法 参数 检测 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中北大学，未经中北大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111019949.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
