[发明专利]一种小尺寸测试版脱膜方法及脱膜装置

摘要

本发明公开了一种小尺寸测试版脱膜方法，包括首先利用光照射测试版具有光刻胶的表面，光刻胶吸收光发生光解，使得光刻胶易溶于显影液；然后利用显影液冲洗被光照射后的测试版表面，将测试版表面发生光解的光刻胶冲洗溶解至无光刻胶残留；最后，用纯水冲洗测试版表面，至无显影液残留；本发明技术方案的一种小尺寸测试版脱膜方法，利用与待去除光刻胶相适应的光照射光刻胶一定时间，使得光刻胶吸收光，发生光解反应，使得光解后的光刻胶易溶于一定浓度的显影液，最后利用显影液冲洗测试版及其上的光刻胶，实现光刻胶的去除，在整个除胶过程中，没有强氧化剂和腐蚀剂的使用，光解过程快速，效率高，安全环保。