[发明专利]利用高压空气的装置在审

专利信息
申请号: 202111030425.3 申请日: 2021-09-03
公开(公告)号: CN114156199A 公开(公告)日: 2022-03-08
发明(设计)人: 笠井刚史;上原健;高桥聪 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/683
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 于靖帅;乔婉
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供利用高压空气的装置。该装置对所提供的高压空气进行监视,通知在该高压空气中混入有油。该装置在内部利用高压空气,其中,该装置具有:主体;空气配管,从高压空气提供源向该空气配管提供高压空气,该空气配管将该高压空气提供至该主体的内部;过滤器,其将在该空气配管内通过的该高压空气中所包含的油去除;气体检测器,其对通过该过滤器后的该高压空气中所包含的有机气体进行检测;以及通知单元,其在该气体检测器检测到该高压空气中所包含的有机气体时,通知在该高压空气中混入有该油。
搜索关键词: 利用 高压 空气 装置
【主权项】:
暂无信息
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