[发明专利]一种复合氧化物磨粒及其制备方法在审
| 申请号： | 202111032975.9 | 申请日： | 2021-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN113897177A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 洪春水;杨雷;邹玥;李效平;蒋洪才 | 申请（专利权）人： | 永州市湘江稀土有限责任公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;C09G1/02 |
| 代理公司： | 长沙市和协专利代理事务所(普通合伙) 43115 | 代理人： | 熊晓妹 |
| 地址： | 426111 湖南省永州市祁阳县*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种复合氧化物磨粒的制备方法，该复合氧化物为CeO2‑ZrO2‑Pr6O11‑Al2O3‑SiO2复合氧化物，包括以下步骤：将氧化镨和氧化铈分别溶于硝酸中；将Ce、Zr、Pr、Al的硝酸盐溶解在去离子水中，加入SiCl4溶液，加入表面活性剂，稀氨水滴加到混合溶液中，调整pH值8时停止滴加，继续搅拌2h后常温下陈化72小时；将混合物过滤分离后干燥8h；将制备的沉淀物在空气下700‑900℃焙烧2h即得。本发明方法制得的五元复合氧化物能够结合多种磨粒的综合性能，既能提高抛光速率，又能够增加化学机械抛光的均匀性，五元材料互相复合，不可避免会使一些成分进入另一些成分的晶格，在一定范围内，增加了磨粒氧化物的晶格缺陷，采用本发明方法不仅提高化学活性，又改善磨粒的抛光性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 氧化物 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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