[发明专利]一种新能源电力元件表面镀覆装置有效
| 申请号： | 202111033650.2 | 申请日： | 2021-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN113463016B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 杨建华 | 申请（专利权）人： | 吾度科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/22;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226001 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新能源电力元件表面镀覆装置，本发明涉及新能源机械技术领域，包括底座，所述底座的顶部固定连接有罐体，所述罐体表面的上方位置固定连接有抽真空设备，所述罐体内侧面的顶部固定连接有轰击机构，所述轰击机构表面的上方位置固定连接有降尘机构，所述罐体内侧面的底部固定连接有搅拌机构，所述搅拌机构的顶部固定连接有混合机构，所述轰击机构包括连接壁。该新能源电力元件表面镀覆装置，通过搅拌机构、混合机构、轰击机构以及降尘机构等机构的配合使用，解决了如何分开通入各组分的保护气体并有效搅拌，被镀膜元件与承载台相接触的表面无法实现镀膜，如何使得靶材蒸发离子与电器元件表面充分接触的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新能源 电力 元件 表面 镀覆 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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