[发明专利]一种便于拆卸的防止反溅液体污染晶圆的装置有效
| 申请号： | 202111035548.6 | 申请日： | 2021-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN113467199B | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 刘长伟;耿克涛;袁创迪;刘金 | 申请（专利权）人： | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;H01L21/67 |
| 代理公司： | 浙江中桓凯通专利代理有限公司 33376 | 代理人： | 刘潇 |
| 地址： | 315400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种便于拆卸的防止反溅液体污染晶圆的装置，所述防止反溅液体污染晶圆的装置包括：废液收集整流杯；废液收集整流杯支撑件，所述废液收集整流杯支撑件用于支撑所述废液收集整流杯；至少一个升降主动件，所述升降主动件设于所述废液收集整流杯的任意一侧，所述升降主动件用于控制所述废液收集整流杯升降运动；至少一个平动主动件，所述平动主动件与所述升降主动件滑动连接，所述平动主动件用于控制所述废液收集整流杯水平运动；其中，所述升降主动件连接所述废液收集整流杯支撑件，或所述平动主动件连接所述废液收集整流杯支撑件。本发明有效解决更换废液收集整流杯时，更换空间较小，操作不方便的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 便于 拆卸 防止 液体 污染 装置 | ||
【主权项】：
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