[发明专利]一种晶圆圆心偏移检测方法有效
| 申请号： | 202111035616.9 | 申请日： | 2021-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN113470108B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 陈盛闯;张梁;李波 | 申请（专利权）人： | 中导光电设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/66 | 分类号： | G06T7/66;G06T7/00 |
| 代理公司： | 广州维智林专利代理事务所(普通合伙) 44448 | 代理人： | 赵晓慧 |
| 地址： | 526238 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶圆圆心偏移检测方法，包括：驱动晶圆在转盘上旋转一周；获取旋转时在摄像机下形成的多个图像；根据所述多个图像计算晶圆的偏移角度；根据所述多个图像计算晶圆的偏移距离；根据所述晶圆的偏移角度和偏移距离计算圆心的偏移坐标。本发明采用旋转载台带动晶圆转动，定点拍照，结构简单,采集分辨率自由可控制；精准推导圆心偏移公式，求取圆心偏移采用分离计算方法，采用多测量数据进行拟合来提高测量准确度，对微小数据进行等效估算，在数据保真前提下降低计算难度。利用余弦三角函数的曲线特点，对数据进行校验、插补、补偿，排除缺失、异常数据，光滑噪声，提高测量准确度和精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆圆 偏移 检测 方法 | ||
【主权项】：
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