[发明专利]一种测量薄膜电导率的方法、装置、计算机设备及介质

摘要

本发明提供了一种利用太赫兹信号测量薄膜电导率的方法、装置、计算机设备以及介质。所述方法包括：计算出理论传输函数的理论幅度值Atheo(ω)与理论相位值θtheo(ω)；测量实验传输函数的实验幅度值Aexp(ω)与实验相位值θexp(ω)；根据理论传输函数和实验传输函数的幅度值和相位值，得到误差函数：对误差函数进行迭代，得到误差函数最小时薄膜样品的折射率n与消光系数k；利用薄膜样品的折射率n与消光系数k计算出薄膜样品的复数电导率。上述方法排除了薄膜近似条件对电导率提取的影响，从而精确得到薄膜样品的复数电导率参数。