[发明专利]一种高含铂金属的银铂键合丝及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202111037357.3 申请日: 2021-09-06
公开(公告)号: CN113737049B 公开(公告)日: 2022-02-08
发明(设计)人: 彭庶瑶;彭晓飞 申请(专利权)人: 江西蓝微电子科技有限公司
主分类号: C22C5/06 分类号: C22C5/06;C22C1/03;H01L23/49;H01L33/62;F27B14/04;F27B14/08;F27B14/14
代理公司: 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) 44251 代理人: 周松强
地址: 343000 江*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 发明公开了一种高含铂金属的银铂键合丝及其制备方法,涉及到键合丝材料技术领域,所述高含铂金属的银铂键合丝按质量分数计,包括银85‑99%、铂15‑5%、铜0.1‑0.2%、钙0.2‑0.35%、铬0.003‑0.01%和其它掺杂元素0.01‑0.02%。本发明在避免上加热腔室与下加热腔室内部气氛被破坏的同时,还可以避免造成气体浪费,同时在后续制备银铂合金的过程中可以对银、铜、铬和铱以及银、钙和镧进行预热,在制备银铜铬合金的过程中可以对银、钙和镧进行二次预热,进而有效缩短银铜铬合金以及银钙合金制备所需要的时间,提高加工效率。
搜索关键词: 一种 铂金 银铂键合丝 及其 制备 方法
【主权项】:
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