[发明专利]一种微型气体传感器的制作工艺及其传感器在审
| 申请号： | 202111040882.0 | 申请日： | 2021-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN113740382A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 徐书生;蒋文凯;蒋梦琳;朱剑波;李运凤;王鑫泽 | 申请（专利权）人： | 奥维尔斯智能科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 南京新众合专利代理事务所(普通合伙) 32534 | 代理人： | 彭雄 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市相城区高铁新城南天*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种微型气体传感器的制作工艺及其传感器，该制作工艺包括以下步骤：通过预先配置的多组溶液混合制得带有羧基、羟基的石墨烯量子点；选择可以对特定气体分子具有响应能力的官能团分子；将所述官能团分子与带有羧基、羟基的石墨烯量子点进行嫁接，并制备出带指定官能团的石墨烯量子点；通过预先配置的材料进行叉指电极的制备；将所述带指定官能团的石墨烯量子点滴在带有所述叉指电极的硅片上形成一层薄膜覆盖于电极之上。有益效果：本发明既保留了石墨烯量子点优异的导电性能，又能发挥官能团对气体分子的特异性响应以及可以制作成整体尺寸在微米级的气体传感器，节约能耗并且安全可靠，不用反复加热还可以延长传感器的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 气体 传感器 制作 工艺 及其 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于奥维尔斯智能科技（苏州）有限公司，未经奥维尔斯智能科技（苏州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111040882.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
