[发明专利]气体冲洗装置以及气体冲洗方法在审
| 申请号： | 202111050240.9 | 申请日： | 2021-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN114378047A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 魏孟良;周孙甫 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00;B08B9/093;H01L21/67 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供一种用于冲洗晶圆容器以清洁晶圆的气体冲洗装置以及方法。气体冲洗装置包括第一喷嘴以及气门。第一喷嘴通过前置式晶圆盒的第一端连结前置式晶圆盒。气门通过第一管道连结第一喷嘴。气门包括第一质量流量控制器、第二质量流量控制器以及第一切换单元。第一质量流量控制器经配置以控制第一流量的第一气体。第二质量流量控制器经配置以控制第二流量的第二气体。第一切换单元耦合第一质量流量控制器以及第二质量流量控制器，且经配置以根据制程组态，通过第一管道提供第一喷嘴第一气体或通过第一管道接收第一喷嘴的第二气体。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 冲洗 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南亚科技股份有限公司，未经南亚科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111050240.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：车辆驾驶辅助装置、车辆驾驶辅助方法以及程序
- 下一篇：流路切换阀
