[发明专利]一种基于电泳技术的自动化刻蚀机构及其使用方法

摘要

本发明公开了一种基于电泳技术的自动化刻蚀机构，包括操作面，刻蚀液操纵组件，操作面上阵列设置有若干安装槽；每个硅片根据光刻胶图案黏附有刻蚀腔体，每个刻蚀腔体的上方均对应有刻蚀操纵组件；每层刻蚀腔体均由增强纤维构筑而成，增强纤维通过若干支撑纤维固定；每个刻蚀腔体从顶层向下以三个增强纤维为涂布周期布置有亲疏水性不同的增强纤维，涂布周期包括两个超亲水介质层、一个涂布有超疏水介质层；刻蚀操纵组件包括若干等角度布置的喷头和导电纤维；每个喷头能够自动切换到刻蚀操纵组件的中心实现下料；导电纤维沿同心圆轨迹运动。该设备基于电泳操纵液滴的技术，通过电场的强弱变化，液滴表面的电荷发生迁移，改变液体表面的张力，达到平整液面的目的。