[发明专利]声表面波谐振装置、滤波装置及射频前端装置有效
申请号: | 202111054657.2 | 申请日: | 2021-09-08 |
公开(公告)号: | CN113810007B | 公开(公告)日: | 2023-08-29 |
发明(设计)人: | 韩兴;周建 | 申请(专利权)人: | 常州承芯半导体有限公司 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/64 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 吴敏 |
地址: | 213166 江苏省常州市武*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明实施例提供一种声表面波谐振装置、滤波装置及射频前端装置。声表面波谐振装置包括:支撑层;压电层,位于支撑层上方,压电层包括第一侧及第一侧相对的第二侧,支撑层位于第一侧;反射介质层,位于第一侧,位于支撑层上方,嵌入压电层;电极层,位于第二侧,位于压电层上;其中,反射介质层包括第一顶部及第一侧部,第一顶部包括第一凹凸部,第一侧部包括第二凹凸部,第二凹凸部的粗糙度大于第一凹凸部的粗糙度。反射介质层位于压电层和支撑层之间,嵌入压电层,反射介质层包括不规则凹凸部,电极层产生的体声波在不规则凹凸部处产生不规则反射,可以减少反射到压电层上表面的体声波,从而减少了寄生谐振。 | ||
搜索关键词: | 表面波 谐振 装置 滤波 射频 前端 | ||
【主权项】:
暂无信息
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