[发明专利]微机械结构和微机械传感器在审
| 申请号： | 202111055659.3 | 申请日： | 2021-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN114229786A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | J·赖因穆特;K-U·里曹 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;G01P15/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械结构，其具有衬底和相对于衬底可运动的震动质量，其中，扭转弹簧将震动质量与衬底连接。微机械结构还具有探测机构，其中，第一方向和基本上垂直于所述第一方向的第二方向定义衬底的主延伸平面，其中，探测机构设置用于探测震动质量围绕旋转轴线的旋转偏移，其中，旋转轴线布置在第二方向上。微机械结构还具有止挡结构，其中，止挡结构如此布置，使得震动质量的运动由止挡结构限制，其中，止挡结构设置用于，在部分弹性、部分非弹性的碰撞中吸收所述震动质量的动能。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 结构 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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