[发明专利]微电子装置及相关方法和系统

摘要

本申请案涉及微电子装置及相关方法和系统。微电子装置包含堆叠结构，所述堆叠结构具有以层次布置的绝缘结构和导电结构的竖直交替序列。一系列狭缝结构延伸穿过所述堆叠结构且将所述堆叠结构划分成一系列块。在所述一系列块的渐进部分中，每一块包括延伸穿过所述块的所述堆叠结构的支柱阵列。并且，所述渐进部分中的每一块具有与所述一系列块的所述渐进部分的相邻块的块宽度不同的块宽度。所述渐进部分中的所述支柱阵列中的所述支柱中的至少一个支柱展现弯曲。还公开了相关方法和电子系统。