[发明专利]基于硅波导管共晶键合技术的电容式微机械超声换能器及其制备方法有效
| 申请号： | 202111058690.2 | 申请日： | 2021-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN113751297B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 王任鑫;张文栋;王智豪;秦芸;张国军;何常德;王红亮;杨玉华;张赛;崔建功 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | B06B1/02 | 分类号： | B06B1/02;B81B3/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 太原倍智知识产权代理事务所(普通合伙) 14111 | 代理人： | 张宏 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明为一种基于硅波导管共晶键合技术的电容式微机械超声换能器及其制备方法，属于MEMS技术领域。该换能器由SOI片和氧化片通过共晶键合技术制备而成，包括沉积在SOI片器件层的金属上电极、氧化片的氧化层图形化空腔结构后沉积金属下电极，SOI片器件层和氧化片金属图形化面共晶键合形成密封真空电容腔，SOI片衬底层刻蚀有硅波导管。本发明换能器设计了集成硅波导管结构，上下电极在同侧引出，具有发射超声波束能量集中，改善了CMUT的方向性，能抑制阵元间的串扰等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 波导管 共晶键合 技术 电容 式微 机械 超声 换能器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中北大学，未经中北大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111058690.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
