[发明专利]定量测量激光盲孔产生胶渣量的方法在审
申请号: | 202111061942.7 | 申请日: | 2021-09-10 |
公开(公告)号: | CN113983970A | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 李俊;钱国祥;姚晓建 | 申请(专利权)人: | 安捷利美维电子(厦门)有限责任公司;广州美维电子有限公司 |
主分类号: | G01B15/02 | 分类号: | G01B15/02 |
代理公司: | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人: | 王忠浩 |
地址: | 361026 福建省厦门市*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种定量测量激光盲孔产生胶渣量的方法,采用水平线或者垂直线以棕化或者黑化的方式对板材表面进行处理;根据所需规格的盲孔调整激光参数,加工并钻出盲孔;采用机械研磨的方式将前处理中产生的相应氧化膜去除;按沉铜工艺所需铜厚沉铜1次或多次直至沉铜层铜厚在0.5um以上;将选定盲孔的位置锣出,将胶填充满盲孔;对盲孔进行纵切片,研磨处理;读出沉铜层和底铜之间的胶渣厚度。激光钻孔后无需去除胶渣,直接在原盲孔底部胶渣上沉上一层铜隔离并用以分析,无需电镀,避免电镀应力导致铜层翘起影响结果判断,解决了检测效果差、效率低的问题。 | ||
搜索关键词: | 定量 测量 激光 产生 胶渣量 方法 | ||
【主权项】:
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