[发明专利]三维互联和散热一体化的微系统封装结构在审
申请号: | 202111061951.6 | 申请日: | 2021-09-10 |
公开(公告)号: | CN113772617A | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 张乐琦;马林星;周凯;卢振;丁勇;苏坪;张翔;王继昇 | 申请(专利权)人: | 上海无线电设备研究所 |
主分类号: | B81B7/00 | 分类号: | B81B7/00;B81B7/02 |
代理公司: | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人: | 张静洁;徐雯琼 |
地址: | 200233 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种三维互联和散热一体化的微系统封装结构,包括散热壳体、硅基组件、转接电路板、封装盖板和毛纽扣连接器;散热壳体与封装盖板连接形成一封闭腔体,用于容置彼此连接的硅基组件和转接电路板,硅基组件与散热壳体相连,转接电路板与封装盖板相连;毛纽扣连接器包括第一类和第二类;第一类贯穿散热壳体底壁与硅基组件相连,散热壳体内嵌有用于流通冷却液的流道;第二类贯穿封装盖板与转接电路板相连;硅基组件通过金属层、铜通孔、硅通孔和BGA焊球阵列封装实现毛纽扣连接器、转接电路板和硅基组件三者之间电学互联,毛纽扣连接器用于硅基组件与外界进行信号传输。该结构能够同时兼具高集成度、高导热效率、高实用性和高使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 三维 散热 一体化 系统 封装 结构 | ||
【主权项】:
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