[发明专利]基于亚波长结构的宽带滤波型片上的光谱或频谱分析系统

摘要

本发明涉及光子芯片的光谱或频谱分析技术领域，具体涉及一种宽带滤波型光谱或频谱分析系统。基于亚波长结构的宽带滤波型片上的光谱或频谱分析系统，包括依次布置在芯片上的光耦合器、功分器、亚波长结构宽带滤波器阵列、集成光波导和光电探测器；亚波长结构宽带滤波器包含若干微纳结构，任意两个不同的亚波长结构宽带滤波器的微纳结构参数均不相同。本发明是在光子芯片上实现的，可将光耦合器、分光器和亚波长结构宽带滤波器都集成在一个芯片上，亚波长结构宽带滤波器尺寸非常小，与传统光谱或频谱探测系统相比，体积大幅度减小，且功耗和质量也有很大降低，使系统更稳定。