[发明专利]基于非对称叠层的铁电电容和低压高速铁电存储器以及制备方法

摘要

本发明公开了一种基于非对称叠层铁电电容及低压高速铁电存储器和制备方法，属于半导体存储器件领域。该非对称叠层铁电电容由顶电极、底电极以及两电极之间的双介质层构成，双介质层具体为与顶电极相邻的铁电介质层和与底电极相邻的介质层，本发明利用介质层作为籽层为铁电介质层提供结晶模板，能够在厚度不变的情况下提升铁电相占比；并利用不同元素还原性产生氧空位浓度梯度，从而产生内建电场辅助极化翻转。本发明提升了铁电随机存储器的存储窗口；且内建电场增强了读出电压，提高读出速度，缓解由于低电压操作带来的动态问题，有利于铁电随机存储器在低压高速下的应用。