[发明专利]一种红外探测器及其制备方法和红外探测系统

摘要

本申请提供了一种红外探测器及其制备方法和红外探测系统，其中，红外探测器包括像元阵列，该像元阵列中的每个像元包括桥臂和通过桥臂支撑于铝层上的桥面，该桥面包括吸收膜系，在远离铝层的方向上，吸收膜系依次包括空腔层、第一介质层、金属层、第二介质层、热敏层和第三介质层。相比于现有技术，本申请的红外探测器通过对吸收膜系进行调整，设计了能够在波长为3μm‑7μm的跨中波段内具有较强吸收的像元阵列，有效提高了该波段范围内的红外辐射吸收率。因此，本申请的红外探测系统对红外波长在3μm‑7μm的被探测目标具有较高的吸收率。本申请的红外探测器的制备方法，工艺简单易操作，原料易得，能够广泛应用于工业生产中。