[发明专利]晶圆制备的控制方法及其装置

摘要

本申请提供一种晶圆制备的控制方法及其装置。该方法包括响应第一在制品的制备派工指令，基于晶圆制备所使用的实时派工系统从晶圆制备信息库中获取第一在制品在当前站点的制备流程对应的第一有效设备数量，并获取第一有效设备最大负载量，晶圆制备信息库中包括多个在制品在当前站点的制备流程对应的有效设备数量和有效设备最大负载量；当第一有效设备数量大于或等于预设有效设备数量，且第一有效设备最大负载量大于或等于预设最大负载量时，基于实时派工系统下发第一在制品的制备指令。本申请的方法可以有效得避免因为制程等待时间过长导致的晶圆、集成电路的成品率低、生产效率低、晶圆制造机台利用率低等问题。