[发明专利]一种采用异形拉梅模谐振器的谐振式石英温度传感器在审
申请号: | 202111073560.6 | 申请日: | 2021-09-14 |
公开(公告)号: | CN113865740A | 公开(公告)日: | 2021-12-31 |
发明(设计)人: | 林金秋;王凯;田崇瑞;赵龙;吴和静;刘芳;王强;苏绍卓;林春;邵雅斌;陈宽宽 | 申请(专利权)人: | 黑龙江东方学院 |
主分类号: | G01K7/32 | 分类号: | G01K7/32;H01P7/00 |
代理公司: | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人: | 闫露露 |
地址: | 150000 黑龙江省哈尔滨*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 本发明涉及谐振式传感器技术领域,并且公开了一种采用异形拉梅模谐振器的谐振式石英温度传感器,它由一体化封装部件和异形拉梅模热敏谐振器构成。后者以“微型锥状石英条形片”为基础,并采用以其锥状尾端作为“单端式支撑装架”之结构,呈“手术刀片”状;使用(yxlt)(23°~45°)/(70°~75°)石英热敏切型,基频、拉梅模式工作。内部充填了导热优异的氦气或氮气,其含量为1.0Pa~1.3kPa。为了提升异形拉梅模热敏谐振器的能阱作用以及对高次弯曲振动模、厚度切变等寄生模的抑制,使用了“振动模式选择性阻尼加权方案”。它解决了本行业的低工作频率与高分辨率、耐恶劣环境工作与高准确度和优异长期稳定不可同时兼得的难题;传感器特性稳定,可3年免标定。 | ||
搜索关键词: | 一种 采用 异形 拉梅模 谐振器 谐振 石英 温度传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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