[发明专利]氧化铈掺杂IZO粉体、靶材及制备方法有效
| 申请号： | 202111074675.7 | 申请日： | 2021-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN113716953B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 甘志俭;张玉玲;袁伟;陈荣华;诸斌 | 申请（专利权）人： | 基迈克材料科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/622;C04B35/626;C04B35/64;C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 袁荟 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及材料加工技术领域，特别是涉及一种氧化铈掺杂IZO粉体、靶材及制备方法。本发明通过选用金属铈作为掺杂剂，与金属铟和金属锌性质匹配，能在800℃～850℃下形成液态合金，对该液态合金进行气雾化处理后，能得到三种金属分散高度均匀的合金颗粒，同时，雾化时施加氧气，能使得合金颗粒在800℃～850℃的温度下迅速被氧化成合金氧化物颗粒，从而获得以机械研磨方式难以达到的均匀程度的氧化铈掺杂IZO粉体，能进一步制成较纯IZO靶材电阻更低，较传统掺杂技术更均匀、性能更好的氧化铈掺杂IZO靶材，而且制备过程中不涉及酸、氨水等试剂的使用，因此不会产生废水废气污染环境，更绿色环保。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 掺杂 izo 粉体 制备 方法 | ||
【主权项】：
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