[发明专利]一种等离子刻蚀机用陶瓷介质窗加工方法有效
| 申请号： | 202111075707.5 | 申请日： | 2021-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN113800921B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 林鑫;姚相民;马玉琦;李奇;周斌;占克文 | 申请（专利权）人： | 杭州大和江东新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/622 | 分类号： | C04B35/622;C04B35/64 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 汪利胜 |
| 地址： | 311200 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子刻蚀机用陶瓷介质窗加工方法，旨在解决陶瓷介质窗的加工效率低，生产成本高，烧结过程易变形的不足。该发明包括以下步骤：a、将陶瓷粉料装入冷等精压成型模具中；b、将装满陶瓷粉料的冷等精压成型模具放入冷等精压容器中，采用冷等静压缸对冷等静压成型模具加压，并保压；c、取出冷等精压成型模具，并脱模取出陶瓷介质窗生坯；d、对陶瓷介质窗生坯外轮廓进行磨削加工；e、将完成外轮廓磨削的陶瓷介质窗生坯放入烧结炉内进行烧结，烧结炉内设置支撑台，支撑台上设置若干支撑凸环，陶瓷介质窗生坯开口朝上支撑在支撑凸环上，烧结炉内装入烧结砂；f、烧结完成后取出烧结后的陶瓷介质窗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 刻蚀 陶瓷 介质 加工 方法 | ||
【主权项】：
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