[发明专利]一种用于单片浸入式湿处理工艺的表面排气设备及方法在审
| 申请号： | 202111077679.0 | 申请日： | 2021-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN113714188A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 史蒂文·贺·汪;刘立安;王亦天;王铮 | 申请（专利权）人： | 新阳硅密（上海）半导体技术有限公司;硅密芯镀（海宁）半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B3/10;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京市盈科律师事务所 11344 | 代理人： | 陈晨;王津 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于单片浸入式湿处理工艺的表面排气设备及方法，其中，用于单片浸入式湿处理工艺的表面排气设备包括处理槽、晶圆夹具以及驱动装置；处理槽内注入有工艺液体；晶圆夹具用于夹持晶圆片，晶圆夹具可在驱动装置的驱动下带动晶圆片浸入处理槽的工艺液体内；晶圆片可在驱动装置的控制下摆动至与工艺液体液面呈角度并旋转。本发明提供的用于单片浸入式湿处理工艺的表面排气设备及方法，利用工艺液体的粘度，通过晶圆片的旋转带动工艺液体充满内凹区，并通过晶圆片摆动至与工艺液体液面呈一定角度达到向上排气的效果，确保了晶圆片与工艺液体的充分、均匀接触，提升了工艺质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单片 浸入 处理 工艺 表面 排气 设备 方法 | ||
【主权项】：
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