[发明专利]菲涅尔光栅微透镜阵列、光谱仪及光谱共焦面型测量系统有效
| 申请号： | 202111078906.1 | 申请日： | 2021-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN113834439B | 公开（公告）日： | 2023-10-17 |
| 发明（设计）人： | 李星辉;刘培源;白蛟;王晓浩 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳国际研究生院 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 方艳平 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种菲涅尔光栅微透镜阵列、光谱仪及光谱共焦面型测量系统，其中菲涅尔光栅微透镜阵列是由聚合物PDMS压制形成的透镜模块，其中该透镜模块的一面为阵列排列的菲涅尔微透镜结构，另一面为闪耀光栅结构。菲涅尔光栅光谱仪，包括阵列式光源狭缝模块、面阵CCD和菲涅尔光栅微透镜阵列，阵列式光源狭缝模块中阵列排列的光源狭缝之间的间距与阵列排列的菲涅尔微透镜结构中各个菲涅尔微透镜的中心之间的间距相等。光谱共焦面型测量系统包括光源、光纤耦合器、光谱共焦测头和菲涅尔光栅光谱仪。本发明提出的光谱仪及光谱共焦面型测量系统，体积小、重量轻、测量维度适应性强，加工成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 菲涅尔 光栅 透镜 阵列 光谱仪 光谱 共焦面型 测量 系统 | ||
【主权项】：
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