[发明专利]基于频闪切换照明的掩膜版缺陷检测方法及系统在审
| 申请号： | 202111078994.5 | 申请日： | 2021-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN113834818A | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 周文彩;刘建明;张彦鹏 | 申请（专利权）人： | 江苏维普光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/89 | 分类号： | G01N21/89;G01N21/88 |
| 代理公司： | 常州兴瑞专利代理事务所(普通合伙) 32308 | 代理人： | 张秋月 |
| 地址： | 213000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于频闪切换照明的掩膜版缺陷检测方法及系统，用于检测具有铬层和透明基底的掩膜版的缺陷，方法步骤中包含：在掩膜版匀速移动的过程中，透射光和反射光交替照射于掩膜版；透射光照射于掩膜版时，透射光先透过透明基底，后被成像于图像采集面；反射光照射于掩膜版时，反射光先经铬层反射，后被成像于图像采集面；采集每一次成像于图像采集面的透射光的透射光图像信号及每一次成像于图像采集面的反射光的反射光图像信号；对采集到的透射光图像信号和反射光图像信号分别进行提取、重组，得到掩膜版表面透射图像和反射图像。本发明可以在透射光和反射光以极高频率切换的同时获得掩膜版表面上铬层和透明基底上的缺陷，检测效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 切换 照明 掩膜版 缺陷 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
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