[发明专利]晶圆自动测试系统的开放式测试头在审
| 申请号： | 202111081523.X | 申请日： | 2021-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN114200179A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 张建文 | 申请（专利权）人： | 利亘通国际有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京天平专利商标代理有限公司 11239 | 代理人： | 孙刚 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种晶圆自动测试系统的开放式测试头，系由固定支架辅助，将弹簧针介面模组及仪器机箱设置于晶圆自动探针台上方，快速建构一种无机柜的晶圆自动测试系统，既可缩减晶圆自动测试系统的重量与体积，节省厂房空间使用，且仪器机箱可以近距离电连接弹簧针介面模组，这样能够缩短测试讯号线的长度，有助于提升测试仪器的性能表现。此开放式测试头，可以摆脱习知封闭式测试头的机壳束缚，改善自动测试系统的散热，并且可以降低晶圆自动测试系统的研发成本，也更容易进行自动测试系统的硬体维护与功能扩充升级。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 测试 系统 开放式 | ||
【主权项】：
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