[发明专利]一种紫外LED和紫外探测器集成器件及其制作方法

摘要

本申请公开了一种紫外LED和紫外探测器集成器件及其制作方法，包括衬底；位于衬底上表面、包括多层层叠的膜层的集成外延体，集成外延体包括紫外LED的第一外延体和紫外探测器的第二外延体，集成外延体中各膜层的材料为基于同一族材料的化合物；分别与第一外延体和第二外延体接触的n型电极、p型电极。本申请中集成外延体包括紫外LED的第一外延体和紫外探测器的第二外延体，集成外延体中的各个膜层的材料为基于同一族材料的化合物，所以一外延体、第二外延体属于同一材料体系，实现第一外延体第二外延体的同质集成，提升集成器件可靠性和稳定性，且第一外延体、第二外延体可以通过一次性的外延技术进行制备，缩短工艺时间，提升制作效率。