[发明专利]等离子体发射方向控制装置、等离子体源及其启动方法在审
| 申请号： | 202111081909.0 | 申请日： | 2021-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN113782408A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 刘伟基;吴秋生;冀鸣;赵刚;易洪波 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙) 44614 | 代理人： | 余永文 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种等离子体发射方向控制装置、等离子体源及其启动方法，所述装置包括：应用于等离子体源，所述等离子体源包括：电离腔室、射频线圈以及供气管路；其中，所述电离腔室一侧连接离子发射口；所述控制装置包括：设于在所述离子发射口位置处的阳极，以及连接所述阳极的阳极电源；所述阳极电源向所述阳极提供正极电，驱动所述阳极产生电场，所述等离子体在所述电场的作用下按设定发射角度进行发射；该技术方案，可以控制等离子体的发射角度和覆盖范围，克服了等离子体发射位置固定的缺陷，从而提升了对等离子体发射角度的可控性，等离子体均匀性好，增强了等离子体源的镀膜使用效果。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 发射 方向 控制 装置 及其 启动 方法 | ||
【主权项】：
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