[发明专利]能量存储电容器及其制备方法在审
| 申请号： | 202111082665.8 | 申请日： | 2021-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN113690370A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 丁士进;何玉立;吴小晗;张卫 | 申请（专利权）人： | 复旦大学;上海集成电路制造创新中心有限公司 |
| 主分类号： | H01L49/02 | 分类号： | H01L49/02 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种能量存储电容器，包括衬底、绝缘层、底层电极、铁电薄膜、反铁电薄膜和顶层电极。所述衬底开设有第一沟槽结构，所述绝缘层覆盖所述第一沟槽结构的内壁和顶面以形成第二沟槽结构；所述底层电极、所述铁电薄膜、所述反铁电薄膜和所述顶层电极顺次堆叠设置于所述第二沟槽结构，以形成不同的沟槽结构，相邻两个所述沟槽结构的一个沟槽结构覆盖另一个沟槽结构的内壁和顶面，提升了最大极化强度和击穿电场强度，从而使得电介质电容器的储能密度得以提升。本发明还提供了所述能量存储电容器的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 能量 存储 电容器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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