[发明专利]离子束修形离子源及其启动方法、真空腔室在审
| 申请号： | 202111083180.0 | 申请日： | 2021-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN113793791A | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 吴秋生;刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;C23C14/02;C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙) 44614 | 代理人： | 余永文 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种离子束修形离子源及其启动方法、真空腔室，所述离子源包括：包括设于腔体两侧的阳极和磁场，以及设于腔体前端的栅网；还包括设于腔体后端的中空阴极，以及设置在中空阴极前的电子均匀板；其中，所述中空阴极从腔体后端套入腔体内；所述中空阴极用于向腔体内注入电子束流；所述电子均匀板将所述电子束流均匀分散进入到阳极区域内；所述电子束流中的电子在阳极的电场和磁场的作用下电离，并在所述栅网的电场作用下引出离子束流；采用中空阴极结构为阳极提供离子供体的中空阴极直流源结构，结构轻巧，性能稳定，实现了小束斑、大能量的离子束流输出，并可以控制离子束的能量和停留时间，在离子束修形中具有良好的使用效果。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 离子源 及其 启动 方法 空腔 | ||
【主权项】：
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