[发明专利]一种基于介质侧壁光栅的确定性光栅耦合系数的DFB激光器制作方法有效
| 申请号： | 202111083202.3 | 申请日： | 2021-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN113991422B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 喻颖;杨灼辉;刘林;余思远 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | H01S5/12 | 分类号： | H01S5/12 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 刘俊 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于介质侧壁光栅的确定性光栅耦合系数的DFB激光器制作方法，包括：S1：在无刻蚀截止层的激光器外延衬底上进行光刻，得到预设几何形状的波导形貌的光刻胶图形，然后进行干法刻蚀与去胶得到预设几何形状的波导结构的衬底；S2：在得到的衬底上沉积一层低折射率绝缘薄膜；S3：在绝缘薄膜层上沉积高折射率介质薄膜；S4：在介质薄膜上进行光刻制备出侧壁光栅形貌的光刻胶图形；S5：在步骤S4得到的光刻胶图形上进行介质薄膜的进行刻蚀与去胶，制备出激光器的介质侧壁光栅，进而制备DFB激光器。本发明解决了无刻蚀截止层的激光器外延材料侧壁光栅的高重复性制备，实现了确定性光栅耦合系数的DFB激光器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 介质 侧壁 光栅 的确 定性 耦合 系数 dfb 激光器 制作方法 | ||
【主权项】：
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