[发明专利]一种量子级联激光器在审
申请号: | 202111083395.2 | 申请日: | 2021-09-15 |
公开(公告)号: | CN113794107A | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 管延娇;王利军;卓宁;张锦川;翟慎强;刘舒曼;刘俊岐;刘峰奇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S5/34 | 分类号: | H01S5/34;H01S5/20;H01S5/125;H01S5/12 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种量子级联激光器,包括由下至上依次设置的衬底、下波导层、下限制层、第一有源层、间隔层、第二有源层、上限制层以及上波导层;其中,所述量子级联激光器包括两个布拉格反射镜以及两个增益区,两个所述布拉格反射镜以及两个所述增益区沿横向依次间隔交错设置,所述上限制层对应两个所述增益区设置有布拉格光栅结构。在本发明提供的技术方案中,上波导层上设置有两个增益区,在上限制层上对应制备有两个布拉格光栅结构,调控双有源区的激射特性,并通过在上波导层交错设置布拉格反射镜以及增益区,实现分区驱动,可以获得精准波长调控的紧凑型、大功率双波长量子级联激光器。 | ||
搜索关键词: | 一种 量子 级联 激光器 | ||
【主权项】:
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