[发明专利]一种透过率和反射率测量仪及其测量方法在审
申请号: | 202111093944.4 | 申请日: | 2021-09-17 |
公开(公告)号: | CN113776786A | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 陈永权;达争尚;郑小霞;张伟刚;李铭 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 董娜 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明提供一种透过率或反射率测量仪及其测量方法,解决现有光学元件透过率或反射率测试方法,只适用于高反或高透光学元件,探测器误差和光源稳定性对测量结果影响较大的问题。测量仪包括激光光源、设在激光光源出射光路上起偏器和分光镜、旋转单元、第一探测器、第二探测器和信号单元;衰减轮盘、第一探测器依次位于分光镜反射光路上;旋转单元包括定距转轴、二维扫描机构和环形滑轨;定距转轴位于分光镜透射光路上;二维扫描机构设在定距转轴上,用于安装被测光学元件;环形滑轨与定距转轴同轴并设在定距转轴外侧;第二探测器能够在环形滑轨上移动;信号单元控制第一探测器和第二探测器同步采集光信号及采集第一探测器和第二探测器的光信号。 | ||
搜索关键词: | 一种 透过 反射率 测量仪 及其 测量方法 | ||
【主权项】:
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