[发明专利]一种微型耐高温光纤法珀振动传感器在审
| 申请号： | 202111094097.3 | 申请日： | 2021-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN113624328A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 陈建君;王宁;朱永;刘松香 | 申请（专利权）人： | 西华师范大学 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 成都众恒智合专利代理事务所(普通合伙) 51239 | 代理人： | 吴桐 |
| 地址： | 637002 *** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种微型耐高温光纤法珀振动传感器，包括耐高温外壳，耐高温外壳内布置有基底反射部和振动敏感部，基底反射部包括固定基底和由固定基底的上侧面贯穿至竖直侧面的弧形光波导，弧形光波导内设置有用于温度漂移补偿的光纤布拉格光栅结构；振动敏感部包括布置在固定基底上方的十字悬臂梁，支撑十字悬臂梁的支撑结构和布置于十字悬臂梁中心下部的质量块；质量块的下端面和弧形光波导的上端面均镀有反射膜，形成法珀腔；其中，固定基底、支撑结构、十字悬臂梁和质量块均为二氧化硅材质，弧形光波导为耐高温石英材质。该光纤法珀振动传感器具有结构微小，耐高温，抗电磁干扰、自主抑制温漂、测量频率范围大、精度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 耐高温 光纤 振动 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西华师范大学，未经西华师范大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111094097.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
