[发明专利]一种声泳复合流动聚焦微纳喷印方法及装置

摘要

本发明公开了一种声泳复合流动聚焦微纳喷印装置，该装置包括与供应喷印流体装置连通的内喷嘴及分布在内喷嘴外部的流动聚焦组件和声泳聚焦组件；内喷嘴设有出液口，出液口下方有承接喷印液滴的基板，应用上述装置的微纳喷印方法让喷印流体先后进行流动聚焦与声泳聚焦，流动聚焦可使喷印流体破碎形成微米级微滴，声泳聚焦进一步破碎液滴并使液滴破碎过程变得可控，得到纳米级微滴，本发明实现了可控的微米甚至纳米级别的微滴的制备，摆脱了现有电子喷印技术对材料本身电、化、磁特性的依赖，为高粘度印刷墨水的“无损”喷印提供了可能，进而实现高粘度喷印材料的高精度、高分辨率印刷，满足印刷电子器件的大面积、高精度的跨尺度制造要求。